單晶制絨清洗機
產(chǎn)品名稱:單晶制絨清洗機
功能簡介:通過硅于堿的各向異性反應(yīng)在硅片表面制備均勻的金字塔絨面結(jié)構(gòu),提升硅片陷光效應(yīng)。
工藝流程:去損傷→預(yù)清洗→制絨→后清洗(可兼容O3清洗)→酸洗→預(yù)脫水→烘干
設(shè)備特點:制備的金字塔結(jié)構(gòu)均勻,刻蝕深度可調(diào);支持MES、RFID及選配在線稱重功能;在線一鍵洗配槽,實現(xiàn)簡單快速換液;工藝槽根據(jù)工藝要求循環(huán)量可調(diào)。
產(chǎn)品名稱 |
單晶制絨清洗機 |
型號 |
KSTEX |
適用工藝路線 |
TOPCON、PERC、HIT、XBC、疊層電池等 |
功能簡介 |
通過硅于堿的各向異性反應(yīng)在硅片表面制備均勻的金字塔絨面結(jié)構(gòu),提升硅片陷光效應(yīng)。 |
工藝流程 |
去損傷→預(yù)清洗→制絨→后清洗(可兼容O3清洗)→酸洗→預(yù)脫水→烘干 |
適用硅片尺寸 |
182x182mm、可兼容18X-230 硅片多種尺寸 |
花籃數(shù)量 |
4、6籃 |
產(chǎn)能 |
182:≥16000片/小時;210:≥12500片/小時 |
碎片率 |
硅片厚度≥130um,碎片率<0.01% |
功率/電壓 |
310KW/380V50Hz 3相5線制 |
設(shè)備特點 |
制備的金字塔結(jié)構(gòu)均勻,刻蝕深度可調(diào);支持MES、RFID及選配在線稱重功能;在線一鍵洗配槽,實現(xiàn)簡單快速換液;工藝槽根據(jù)工藝要求循環(huán)量可調(diào) |