當(dāng)前位置：石英舟(管)清洗機(jī)
產(chǎn)品名稱：石英舟(管)清洗機(jī)
功能簡(jiǎn)介：用于硼擴(kuò)磷擴(kuò)LPCVD等石英舟石英管的清潔處理
工藝流程：酸洗→水洗→ 烘干
設(shè)備特點(diǎn)：整機(jī)為封閉結(jié)構(gòu)，避免環(huán)境污染；設(shè)備具備節(jié)水設(shè)計(jì)功能，具有后槽溢流水收集到噴淋槽重復(fù)利用功能；具備自動(dòng)配補(bǔ)液系統(tǒng)，補(bǔ)液精度高；
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產(chǎn)品名稱 |
石英舟(管)清洗機(jī) |
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型號(hào) |
KSZDSYZ |
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適用工藝路線 |
TOPCON、PERC |
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功能簡(jiǎn)介 |
用于硼擴(kuò)磷擴(kuò)LPCVD等石英舟石英管的清潔處理 |
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工藝流程 |
酸洗→水洗→ 烘干 |
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適用石墨舟尺寸 |
"小舟：432mm*221mm*212mm(L*W*H) |
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產(chǎn)能 |
42+套/天（產(chǎn)能可根據(jù)需求客制化） |
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功率/電壓 |
主機(jī)臺(tái)：40KW /380V 50Hz 3 相 5 線制 |
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設(shè)備特點(diǎn) |
整機(jī)為封閉結(jié)構(gòu)，避免環(huán)境污染；設(shè)備具備節(jié)水設(shè)計(jì)功能，具有后槽溢流水收集到噴淋槽重復(fù)利用功能；具備自動(dòng)配補(bǔ)液系統(tǒng)，補(bǔ)液精度高； |